電子級溶劑廣泛應用于微電子、光電子濕法工藝制程中,是顯示面板、半導體、太陽能電池等設備制造中不可缺少的原料(圖1.1和圖1.2)。選擇合適的電子級溶劑對產品質量至關重要,若用于顯示面板制造的溶劑中含有多余的金屬離子和個別塵埃顆粒,會導致面板產生較大缺陷。
圖1.1. 液晶面板和集成電路應用
|
圖1.2. 太陽能電池領域應用
|
可以選擇其他級別溶劑代替嗎?
超干、超純等溶劑水分含量低、純度高,但是對金屬離子、顆粒粒徑的控制遠遠不夠。因此,選擇合適的電子級溶劑更有利于達到預期研究結果,保障生產質量。
如何選擇電子級溶劑?
市場上電子級溶劑級別眾多,常見的如MOS、UP-S、VL等,質量標準各不相同。到底該如何選擇?
百靈威建議您先明確應用領域,然后參照下表選擇對應等級的電子級溶劑,并仔細核對質量標準。
表1. 各級別產品的質量標準和應用領域
百靈威參照國際半導體協(xié)會SEMI標準,將電子級溶劑分為EL、EHL-I、EHL-II三個級別(表2)。
表2. SEMI級別標準及與我司級別對應關系
嚴格把控生產線,所有電子級溶劑通過如下生產工藝,保證產品質量:
- 經過0.2微米孔徑過濾器過濾,控制0.5微米粒子
- 專業(yè)無塵車間灌裝